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半导体制造技术导论（第二版）
第五章加热工艺
白雪飞
中国科学技术大学电子科学与技术系
提纲
•简介
•加热工艺的硬件设备
•氧化工艺
•扩散工艺
•退火过程
•高温化学气相沉积
•快速加热工艺系统
•加热工艺发展趋势
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简介
集成电路制造工艺流程
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