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行业深度研究/电子
1电子特气：现代工业之基石，晶圆制造之“血液”
1.1电子气体：现代工业的原料基石
广义的“电子气体”指电子工业生产中使用的气体，为重要的工业生产原材
料之一。狭义的“电子气体”特指半导体行业所使用的特种气体。工业中把常温
常压下呈气态的产品统称为电子气体。根据《战略性新兴产业分类(2018)》,电
子气体可分为了电子特种气体和电子大宗气体，其中电子气体已经成为现代工业
不可或缺的基础原料。随着中国经济的快速发展，电子气体
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