半导体金属有机源合成纯化项目可行性研究报告.docx

半导体金属有机源合成纯化项目可行性研究报告模板范文

一、半导体金属有机源合成纯化项目可行性研究报告

1.1项目背景

1.1.1半导体金属有机源在半导体制造中的应用

1.1.2我国半导体产业的发展现状

1.2项目意义

1.2.1提高我国半导体产业的核心竞争力

1.2.2促进我国半导体产业的可持续发展

1.2.3培养高素质人才

1.3项目目标

1.3.1研发高性能、低成本的MOS材料

1.3.2优化MOS材料的合成与纯化工艺

1.3.3推动我国半导体产业的技术创新

1.4项目实施计划

1.4.1项目前期调研

1.4.2技术攻关与研发

1.4.3中试与产业化

1.4.4