基于机器人的地板防静电性能自动化检测技术研究.pdfVIP

摘要

摘要

随着科技的进步发展，微电子器件的集成度越来越高，在生产过程中每一道工

序都要防止静电放电造成大量电子器件报废和引起火灾等状况发生。静电耗散材料

作为防静电地板原料被广泛应用于防静电场所，需要定期检查其防静电性能。鉴于

传统的表面电阻测量方法存在人为干扰、测量精度较差等弊端，因此采用自动化技

术进行防静电性能检测是非常有必要的。本文基于机器人技术设计自动化防静电性

能检测系统，对机器人移动底盘、机械装置识别抓取、环境建图与导航和采集系统

等进行设计研究，研究内容如下：

1）自动化采集机器人软硬件及流程设计。根据表面电阻测试需求对机器人整体

框架进行设计，整体分为硬件和软件部分。在硬件结构中，采用了上位机与下位机

的结构，并结合激光雷达和深度相机进行环境感知。在软件系统中，利用ROS系统

架构进行开发，设计主控制节点工作流程。此外，还对麦克纳姆轮机器人底盘的运

动学进行了分析，设计了相应的机械装置并进行相机标定与手眼标定，通过目标检

测测距辅助机械装置定位并搬运重锤电极。

2）防静电性能自动化检测系统路径规划及测试点标定技术研究。对机器人建图

与导航功能进行了深入研究。研究Gmapping、Cartographer建图算法原理并进行对

比分析，通过里程计模块和SLAM建图算法，实现机器人工作环境地图构建。同时，

利用自主定位模块、A*全局路径规划和改进DWA局部路径规划算法融合进行路径

规划，实现了机器人的自主导航功能。此外，还设计了固定与随机选择测试点位的

多目标点导航功能，提高了机器人的工作效率。

3）防静电性能检测系统采集模块物联架构设计及传感器数据采集。采集系统包

括硬件设计和软件设计两部分，该系统通过电阻测量重锤电极、电源模块和温湿度

模块等硬件设备，实现了对静电耗散材料表面电阻以及环境温湿度的测量。同时，

设计采集物联系统交互界面实时显示采集系统状态，实现了数据的实时存储和远程

监控。最后，采集系统内部通过TTL串口传输，外部通过Wi-Fi与PC端实时通信。

4）防静电性能自动化检测系统功能验证。搭建了自动化采集机器人平台和测试

环境，通过机器人在实际环境下进行Gmapping算法和Cartographer算法的全局地图

构建，进行了机器人室内定位实验，验证了机器人建图与定位功能。对机器人在静

态环境和动态环境下的路径导航以及障碍物避障功能进行了验证。验证了机器人的

多目标点位导航，通过机械装置对测试重锤电极的搬运功能。最后通过机器人采集

系统对目标点位的表面电阻以及温湿度进行测量。

通过一系列机器人实验分析，验证了自动化采集机器人的整体系统设计方案的

I

河北科技大学硕士学位论文

可行性。实验结果表明，机器人能够较好的完成建图、导航避障、电阻测量任务。

本文提出的自动化采集机器人具有一定的应用价值。

关键词自动化采集机器人；静电耗散材料；SLAM建图；路径规划；机械装置；

表面电阻测量

II

Abstract

Abstract

Withtheadvancementanddevelopmentofscienceandtechnology,microelectronic

devicesarebecomingmoreandmoreintegrated.Everyprocessintheproductionprocess

mustpreventelectrostaticdischargefromcausingalargenumberofelectronicdevicesto

bescrappedandcausefires.Staticdissipativematerialsarewidelyusedinanti-sta