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湖北省地方计量技术规范
JJF(鄂)110—2024
晶圆材料电阻特性测试系统校准规范
(片上标准电阻法)
CalibrationSpecificationforWaferMaterialResistance
CharacteristicTestingEquipment
(On-WaferReferenceResistorMethod)
2024-05-14发布2024-09-01实施
湖北省市场监督管
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