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2025《透明导电薄膜的发展研究文献综述》6600字.docx

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    透明导电薄膜的发展研究文献综述

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    TOC\o1-3\h\u23783透明导电薄膜的发展研究文献综述 1

    194821.1透明导电薄膜的分类及制备 1

    222581.2AZO薄膜的优势及其制备方法的研究 8

    1218参考文献 10

    1.1透明导电薄膜的分类及制备

    1.1.1透明导电氧化物薄膜

    自1907年Badeker制备出半导体的CdO薄膜，TCO薄膜开始进入大众的视野，第二次世界大战之后，随着电子工业的发展，对TCO薄膜进行了光学、电学应用的研究，如今已经占据了透明电极的主要市场。TCO薄膜通常有较大的禁带间隙(3.0eV)，低的电阻率(10–

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