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2025《磁控溅射镀膜机原理与设计概述》6000字.docx

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    磁控溅射镀膜机原理与设计概述

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    TOC\o1-3\h\u32697磁控溅射镀膜机原理与设计 1

    175031.1磁控溅射技术简介 1

    86951.1.1二级溅射原理 2

    179241.1.2磁控溅射镀膜工作原理 3

    94881.1.3磁控溅射镀膜的特点 4

    249031.2磁控溅射镀膜机的结构特点 4

    122271.1.1真空镀膜机的结构特点和工作过程 4

    198011.1.2真空镀膜设备设计概述 5

    251271.3镀膜机的零部件设计 6

    2511.3.1镀膜室的材料选

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