2025至2030中国电子特种气体行业纯化技术突破及本土化替代进程评估.docx

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2025-10-27 发布于四川
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2025至2030中国电子特种气体行业纯化技术突破及本土化替代进程评估

TOC\o1-3\h\z\u一、中国电子特种气体行业现状分析 3

1、行业发展阶段与整体格局 3

年行业规模与结构特征 3

产业链上下游协同现状与瓶颈 5

2、主要应用领域需求演变 6

半导体制造对高纯气体的依赖度分析 6

显示面板、光伏等新兴领域需求增长趋势 7

二、纯化技术发展现状与突破路径 9

1、主流纯化技术路线对比 9

低温精馏、吸附分离、膜分离等技术成熟度评估 9

超高纯度（6N及以上）气体纯化工艺难点 10

2、关键技术突破

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