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2025至2030中国电子特种气体纯化技术突破与晶圆厂认证进度分析报告.docx

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    2025至2030中国电子特种气体纯化技术突破与晶圆厂认证进度分析报告

    目录

    TOC\o1-3\h\z\u一、行业现状与发展趋势分析 4

    1、全球及中国电子特种气体市场格局 4

    年全球电子特种气体市场规模与区域分布 4

    中国电子特种气体自给率与进口依赖现状 5

    2、晶圆制造对高纯特种气体的核心需求演变 6

    先进制程（7nm及以下）对气体纯度与杂质控制的新要求 6

    存储芯片与逻辑芯片对特种气体品类的差异化需求 7

    二、核心技术突破与纯化工艺进展 9

    1、电子特种气体纯化关键技术路径 9

    低温精馏、吸附分离与膜分离技术的集成优化

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