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2025《SiH4等离子体化学气相沉积的仿真建模分析案例》5700字.docx

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    SiH4等离子体化学气相沉积的仿真建模分析案例

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    TOC\o1-3\h\u24554SiH4等离子体化学气相沉积的仿真建模分析案例 1

    227611.1模型定义 1

    149031.2模型方程 2

    235801.2.1表面反应和表面物质 2

    258411.2.2域方程 3

    325381.2.3边界条件 3

    210121.2.4全局模型方程 3

    303261.3建模过程 4

    277241.1.1定义变量 4

    289411.1.1建立全局模型 6

    170121.1.2建立空间相关模型 9

    1.1模型定义

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