台阶仪校正作业流程及操作.pdfVIP

1.0目的:

保证台阶仪的精度可靠，测量结果相对稳定，状态可识别。

2.0范围:

适用于台阶仪Dektak150的校正作业。

3.0作业程序:

3.1职责：台阶仪相应校正人员执行本。

3.2作业程序：

3.2.1校准操作步骤

3.2.1.1确认针的tower是状态：若没来请按towerup。

3.2.1.2将平台拉出，将校正片（厂家的时914.1nm±5nm），现校正表单规

定为：9141ű5%）放置平台中间处。

3.2.1.3将平台移入，粗调平台X-Y轴使sample置于针头之下。

3.2.1.4按下towerdown下针，针头碰触到样品后会立即回弹上来一小段，

此时再微调平台X-Y轴把待测区域移到针头下。

NOTE:（1）注意针头碰触到样品时，针头有无落在十字上头，若没有请联

络机台。

（2）膜厚度高的方向朝使用者，扫描时在屏幕画面上针会由下往上扫。

（3）切勿按StylusDown，否则针会停留在样品上。

3.2.1.5开始量测

3.2.1.5.1开启一个新的。

3.2.1.5.2设定量测参数

1.0目的：

保证精度可靠，测量结果相对稳定，状态可辨识。

2.0范围：

适用于Dektak150校准工作。

3.0操作流程：

3.1职责：台阳仪对应的纠偏人员执行。

3.2操作流程：

3.2.1校准操作步骤

3.2.1.1确认塔架。

3.2.1.2.

3.2.1.3将平台移入，维调平台X‑Y轴使样品位于针头下方。

3.2.1.4按塔下下针，针头确实西后会回弹上来一小段，此时再调整平台X‑Y轴

把待性包装移到针头下。

注：（1）注意当针接触样品时，针并未附着在样品上。联

顶层台。(2)用户的方向用膜厚度高，当用户在屏幕上扫描

屏幕时。

3）。。

3.2.1.5开始测量

3.2.1.5.1打开一个新文件。

3.2.1.5.2设置参数

3.2.1.5.3设定parameter

StylusType针的型号，本机台的针可用2μm，2.5μm，

12.5μm

Length扫描长度，建议扫描500μmTO50mm，设定勿超过

此值。

Duration扫描时间，建议扫描500μm至少10s，以此类推。

Resolution解析度，本机台每秒固定取300个data