原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
半导体材料闪烧机制与制备技术研究进展
目录
文档概要．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3
1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3
1.2闪烧现象定义与特征．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5
1.3半导体材料闪烧研究的重要性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7
1.4国内外研究现状概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10
半导体材料闪烧发生机理探讨．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11
2.1闪烧触发因素分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16
2.2材料热物理特性影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19
2.3电流-温度耦合动力学模型．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21
2.4闪烧过程中的微观结构演变．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24
2.5不同能级激发与载流子行为．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26
2.6环境因素作用机制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27
2.7化学键断裂与晶格损伤理论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34
关键半导体材料闪烧特性研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37
3.1硅基材料闪烧现象剖析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38
3.2III-V族化合物半导体辨识．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39
3.3II-VI族材料点燃过程理解．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42
3.4超宽禁带半导体材料特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44
3.5新型薄膜材料闪烧行为考察．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．46
闪烧抑制策略与稳定性提升．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．49
4.1载流子注入控制方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．58
4.2材料结构优化设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．62
4.3电学路径改善措施．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．65
4.4表面钝化技术研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．69
4.5工作/存储条件优化建议．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．74
基于闪烧机理的特种制备技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．75
5.1低阻提取加工方案．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．78
5.2快速升温可控生长技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．80
5.3功率器件定向激活工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．81
5.4太阳能电池界面优化策略．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．83
5.5等离子体辅助激活方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．86
实验方法与测试技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．87
6.1温度场精准测量方案．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．88
6.2电流-电压特性动态监测．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．90
6.3材料微观结构变化表征．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．92
6.4激活后电学性能评估体系．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．94
研究挑战与未来发展趋势．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．97
7.1闪烧理论模型深化需求．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．98
7.2尺寸效应影响机制探索．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．100
7.3工艺窗口
文档评论（0）