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纳米级片上网络架构的关键技术研究进展
目录
纳米级片上网络架构概述..................................4
1.1纳米级片上网络的基本概念...............................5
1.2纳米级片上网络的重要性.................................6
纳米级片上网络的关键技术................................7
2.1纳米互连技术...........................................9
2.1.1纳米导线与接触技术..................................12
2.1.2纳米连接器技术......................................16
2.1.3纳米栅极技术........................................19
2.2纳米信号传输技术......................................21
2.2.1光信号传输..........................................25
2.2.2信号调制与解调......................................26
2.2.3信号完整性分析......................................28
2.3纳米时钟技术..........................................29
2.3.1纳米时钟生成与分配..................................32
2.3.2时钟抖动与噪声控制..................................34
2.4纳米路由与调度技术....................................38
2.4.1路由算法............................................40
2.4.2调度协议............................................44
2.4.3冗余与容错机制......................................44
纳米级片上网络的物理实现...............................46
3.1硅基纳米片上网络......................................49
3.1.1硅晶圆加工技术......................................50
3.1.2纳米光刻技术........................................56
3.1.3纳米刻蚀技术........................................57
3.2绝缘与耦合技术........................................59
3.2.1绝缘材料............................................62
3.2.2电介质刻蚀..........................................63
3.2.3信号耦合技术........................................67
3.3系统集成技术..........................................69
3.3.1晶圆级系统集成......................................70
3.3.23D集成技术..........................................76
纳米级片上网络的应用与挑战.............................77
4.1通信系统中的应用......................................80
4.1.1无线通信............................................82
4.1.2有线通信............................................84
4.2计算系统中的应用......................................84
4.2.1算法加速............................................87
4
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