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;目录;;;;未来3年设备稳定性提升路径:如何依托本标准优化设备性能?;;;;非适用场景说明:哪些情况可不受本标准约束?;关键术语定义解析:“刚性基板”“喷印成形”等术语如何精准界定?;;;;;;;;;几何精度指标量化:导轨平行度、主轴径向跳动等如何规定数值标准?;;;;;;;;;可靠性要求:关键部件寿命、故障修复时间有何标准?;;;;机械防护设计:运动部件、高压部件防护有何标准?;操作人员防护措施:标准对防护装备、操作培训有何要求?;应急防护要求:设备故障、突发事件应急装置与流程有何规定?;未来安全标准展望:是否会进一步提高安全防护门槛?;;;
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