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生

多晶硅产工艺学

绪论

一、硅材料的发展概况

半导体材料是电子技术的基础，早在九世纪末，人们就发

觉了半导体材料，而真止好用还是从二世纪四年头起先的，

五年头以后楮为主，由于错晶体管大量生产、应用，促进了半

导体工业的出现，到了六年头，硅成为主要应用的半导体材料,

到七年头随着激光、发光、微波、红外技术的发展，一些化合

物半导体和混晶半导体材料：如碑化钱、硫化镉、碳化硅、钱铝

碑的应用有所发展。一些非晶态半导休和有机半导休材料（如蔡、

葱、以及金属衍生物等）在肯定范围内也有其半导休特性，也起

先得到了应用。

半导休材料硅的生产历史是比较年青的，约30年。美国是从

1949〜1951年从事半导体硅的制取探讨和生产的。几年后其产量

就翻了几翻，日本、西德、捷克斯洛伐克，丹麦等国家的生产量

也相当可观的。

从多晶硅产量来看，就79年来说，美国产量1620〜1670吨。

日木420〜440吨。西德700〜800吨。预料到85年美国的产量将

达到2700吨、日本1040吨、西德瓦克化学电子有限公司的产量

将达到3000吨。

我国多晶硅生产比较分散，真正生产由58年有色金属探讨院

起先探讨，65年投入生产。从产量来说是由少到多，到七七年产

量仅达70〜80吨,预料到85年达到300吨左右。

二、硅的应用

半导体材料之所以被广泛利用的缘由是：耐高压、硅器件体

积小，效率高，寿命长，及牢靠性好等优点，为此硅材料越来越

多地应用在半导体器件上。硅的用途：

1、作电子整流器云口可控硅整流器，用于电气铁道机床，电解食

盐，有色金属电解、各种机床的限制部分、汽车等整流设备上，

用以代替直流发电机组，水银整流器等设备。

2、硅二极管，用于电气测定仪器，电子计算机装置，微波通讯装

置等。

3、晶体管及集成电路，用于各种无线电装置，自动电话交换台，

自动限制系统，电视摄相机的接收机，计测仪器影来代替真空管,

在各种无线电设备作为放器和振荡器。

4、太阳能电池，以单晶硅做成的太阳能电池，可以干脆将太阳能

转变为电能。

三、提高多晶硅质量的措施和途径：

为了满意器件的耍求，硅材料的质量好坏，干脆关系到晶体

管的合格率与电学性能，随着规模集成电路和MOS集成电路的

发展而获得电路的高牢靠性，适应性。因此对半导体材料硅的要

求越来越高。

1、提IWJ多晶硅产品质量的措施：

在生产过程中，主要冲突是如何稳定产品的质量问题，搞好

工艺卫生是一项最重要的操作技术，在生产实践中要树立“超纯”

观念，养成严格的工艺卫生操作习惯，留意操作者，操作环境及

设备材料等方面夺产品的污染和影响，操作环境最好有干净室。

干净室一般分为三级，它是以Oo5U以上和5U以下的粒子在单

位容积中的个数来分级的。

a、100级，平均每单位体积（立方英尺）（1英尺=30。48

cm）中以0。5U以上小粒子，不超过100个，5U以上的粒子全

部没有。

b、10000级：平均单位体积（立方英尺）中，Oo5U以上的

小粒子个数不超过10000个，5U以上的粒子在65个以小。

c、100000级：平均单位体积中0。5U以上的小粒子不超

过100000个，5U以上的粒子在700个以小。

2、提高原料纯度：