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Puma普玛 检测系统 91XX 9130 9150 用户手册.pdf

Puma普玛 检测系统 91XX 9130 9150 用户手册.pdf

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    产品手册

    Puma™91XX

    激光成像图案晶圆检测系统

    Puma9130和9150激光成像检测仪将UV光学照射元件与多个高速成像传感器相结合，提供了一系列能够在图案产品晶圆上在线检测关键缺陷的光学

    模式。91XX的高采样率、高产量和高灵敏度，使其在关键的前段(FEOL)和后段(BEOL)工艺层上更加高效地捕获并控制良率缺陷。91XX可以作为KLA

    2367全光谱紫外/可见光明场检测仪的辅助补充，形成完整的图案晶圆混合匹配检测策略。

    技术

    多像素传感器

    可编程

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