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CN120116125B 一种半导体晶圆边缘抛光装置及其抛光方法 （艾庞半导体科技(四川)有限公司）.docxVIP

CN120116125B 一种半导体晶圆边缘抛光装置及其抛光方法 （艾庞半导体科技(四川)有限公司）.docx

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    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利

    (10)授权公告号CN120116125B(45)授权公告日2025.07.08

    (21)申请号202510570517.2

    (22)申请日2025.05.06

    (65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN120116125A

    (43)申请公布日2025.06.10

    (73)专利权人艾庞半导体科技(四川)有限公司地址629000四川省遂宁市遂宁高新区云

    锦路8号1栋2楼202室

    (72)发明人周磊丁媛侯斌周富

    B24B41/06(20

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