第四章电容传感器.ppt

第1页，共11页，星期日，2025年，2月5日近似：略去三次以上项：非线性误差：结论:(4)差动结构：灵敏度提高一倍非线性误差减小补偿温度变化(1)只有测量范围很小时具有线性（近似）；(2)灵敏度与初始极距平方成反比：减小极距---提高灵敏度，受限:(1)非线性误差增大；(2)极距过小---电容器击穿、短路一般：δ0=0.1~0.2mm,C0=20~100pF(3)灵敏度与介电常数成正比：ε=ε0εr加入固体介质：高介电常数（云母/塑料）第2页，共11页，星期日，2025年，2月5日2、变面积型电容传感器电容：(a)扇形平板结构；(b)柱面板结构相对变化：结论:灵敏度：(1)传感器输出为线性；(2)灵敏度与初始极距成反比：减小极距---提高灵敏度，(3)保持极距不变：中间移动式；(4)差动结构：提高灵敏度第3页，共11页，星期日，2025年，2月5日2、变介质型电容传感器电容：插入式：影响：降低灵敏度，产生非线性；极板厚度h/极距δ之比越大--严重；边缘效应因子（表4-1）应用：测量厚度、湿度二、电容传感器存在问题及措施1、边缘效应:措施：带保护环---增强均匀性；降低极板厚度---金属薄膜第4页，共11页，星期日，2025年，2月5日2、静电引力：影响：电缆---寄生电容---与传感器电容并联随机---影响输出特性，电缆越长-影响越严重远大于传感器电容(20~100pF)---淹没；影响：极板之间存在静电场---静电引力/力距---弹性元件---误差；3、寄生电容：措施：措施：理论计算---补偿，表4-2（1）增大传感器初始电容：减小极距，增大面积，减小寄生电容影响；（2）注意传感器的接地与屏蔽：屏蔽线至传感器壳内，“一点接地”（3）缩短电缆长度，加大线径：（4）小型化：将前置放大器与传感器安装在一个壳体内，固定不变（5）集成化：将传感器与前置电路集成于同一芯片上，最佳第5页，共11页，星期日，2025年，2月5日（6）驱动电缆法：（7）整体屏蔽法：（8）虚地法：等电位屏蔽法双层屏蔽等位传输法双层屏蔽电缆：内屏蔽层，外屏蔽层（接地）驱动放大器：增益为1，接内屏蔽层，信号线与内屏蔽层等电位，消除信号线与内屏蔽层之间电容要求：增益=1，准确（1/10000）；恒定不变（宽频带）；容性负载：内外屏蔽层间电容特点：精度高，抗干扰性能好，电路复杂，原理：将传感器、传输电缆和前置电路统一屏蔽，关键：如何接地特点：效果好，结构复杂，信号线接放大器虚地(输入端)第6页，共11页，星期日，2025年，2月5日（1）温度对传感器结构影响：4、温度影响：三、电容传感器特点及应用特点：分辨力极高（电容值10-7，相对值100%~200%，位移0.01μm）;动极板质量小，惯性小，动态响应好；非接触，自身发热和功耗小；结构简单，不含有机材料或磁性材料、对环境适应性强温度变化---尺寸变化---电容变化（极距小时更敏感）---误差材料不同---热胀系数不等---热变形不均匀---间隙加大---误差（2）温度对介质的影响：温度变化---介电常数变化---电容改变不同介质，影响程度不同---空气、云母等基本不变；液体影响大应用：微信息检测---测微仪、；静态测量---金属零件计数高频信号检测---振动，转速；第7页，共11页，星期日，2025年，2月5日1-测杆：2-片簧：3-定极板；4-动极板：1、电容式位移传感器：三、电容传感器特点及应用原理：变介质型变极距型；2、电容式厚度传感器：特点：接触式测量差动结构：特点：非接触式测量应用：纸张、绝缘薄膜等第8页，共11页，星期日，2025年，2月5日