实施指南(2025)《GBT31225-2014椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法》.pptxVIP

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2025-11-03 发布于广东
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实施指南(2025)《GBT31225-2014椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法》.pptx

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《GB/T31225-2014椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法》(2025年)实施指南;目录;;硅基二氧化硅薄层的行业应用现状与测量需求;;（三）GB/T31225-2014的核心价值与行业意义;

二、椭圆偏振仪测量的核心原理解析：如何通过偏振光变化精准捕捉薄层厚度信息？;;（二）偏振光与硅基二氧化硅薄层的相互作用机制;（三）标准中核心测量公式的推导与物理意义;;标准适用的薄层厚度范围与硅基底要求;（二）适用的二氧化硅薄层制备工艺类型;（三）标准明确的不适用场景与替代方案建议;;样品表面清洁与预处理的标准流程;样品固定与测量区域选择的关键技巧;仪器校准的周