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《GB/T31227-2014原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法》(2025年)实施指南
目录一、为何溅射薄膜表面粗糙度必选AFM测量?GB/T31227-2014核心逻辑与行业价值深度剖析二、AFM如何精准适配溅射薄膜测量?标准中仪器选型、校准与调试的专家级操作指引三、样品制备是测量成败关键?标准规范下溅射薄膜取样、预处理与固定的全流程解析测量参数如何设定才科学?GB/T31227-2014中扫描范围、速率等关键参数的优化策略五、数据处理为何易出偏差?标准规定的粗糙度参数计算与异常值处理的深度解读六、不同材质溅
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