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2025至2030中国电子特气纯化工艺创新与集成电路制造客户认证周期.docx

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    2025至2030中国电子特气纯化工艺创新与集成电路制造客户认证周期

    目录

    TOC\o1-3\h\z\u一、中国电子特气纯化工艺发展现状与行业背景 4

    1、电子特气在集成电路制造中的关键作用 4

    电子特气种类及其在晶圆制造各环节的应用 4

    高纯度要求对纯化工艺提出的挑战 5

    2、当前国内电子特气纯化技术水平与产业链成熟度 5

    主流纯化技术路线（吸附、精馏、膜分离等）应用现状 5

    国产化率与进口依赖程度分析 6

    二、2025–2030年电子特气纯化技术创新趋势 8

    1、前沿纯化工艺研发方向 8

    低温精馏与分子筛吸附耦合技术突破

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