FR-WI-05-13 硅钛蚀刻液新产品评估作业指导书 A00.docxVIP

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深圳XXX新材料股份有限公司

惠州市XXX实业有限公司

惠州市XX实业有限公司

文件编号：FR-WI-05-13

版本号：A/00

文件密级：秘密

文件名称

硅钛蚀刻液新产品评估作业指导书

页码：第PAGE3页共NUMPAGES\*Arabic4页

部门会签（请根据文件内容填写涉及到的部门或科）

部门

人力资源部

采购部

工程中心

生产及设备科

签名

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部门

计划及储运科

品质部

市场部

安全部

签名

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修改履历

版次

生效日期

修改说明

A/00

2025.04.10

新增加文件

编写

审核

批准

签名

日期

1.目的：

规范硅钛蚀刻液新产品的评估方法，确保新产品能够满足客户要求。

2.范围：

适用于深圳飞世尔新材料股份有限公司及其子公司硅钛蚀刻液的新产品评估。

3.职责：

3.1.表面处理技术研究室：负责硅钛蚀刻液新产品评估项目、评估方法标准和各项目性能测试；

3.2.客户部：负责对要定型的硅钛蚀刻液新产品按照文件进行验证复测。

4.评估内容：

序号

评估项目

性能指标

1

外观

澄清透明液体（不分层、无悬浮物或沉淀）

2

气味

无异味

3

存储稳定性

稳定

4

蚀刻硅钛的效果

设计线路完整，无断点

5

硅钛蚀刻的速度

35℃条件下，蚀刻时间120秒内无硅钛点残留

6

对基材上的影响

35℃条件下，浸泡10分钟对基材无影响

5.评估方法：

除非另有说明，在分析中使用的水为蒸馏水或去离子水。

5.1.外观：

取200克样品，置于干燥洁净的透明玻璃器皿内，在常温、非直射光条件下进行观察，样品外观若澄清透明（不分层、无悬浮物或沉淀）即可判定外观符合要求；

5.2.气味：

取500g新样品，选取三个人员通过感官检验，判断其气味的大小，样品若气味不大于FisherSK-7即可判定气味符合要求；

5.3.稳定性：

用干净的250mL烧杯称取100克样品两份，用保鲜膜密封好。分别置于（0-5℃）的冰箱和（50±5℃）的水浴锅中4H后取出，观察取出后的样品状态。

检测标准：样品若无沉淀和变色现象，即可判定气味符合要求；

5.4.蚀刻硅钛的效果：

在干净的250mL烧杯中放入适量硅钛蚀刻液样品，恒温在35℃，放入待蚀刻硅钛样品，打开磁力搅拌器，分别测试90-120秒内硅钛蚀刻的效果，用金相显微镜观察，设计线路完整，无断点，测试三次，三次重复结果相同判定合格；

检测标准：蚀刻后设计线路完整，无断点即可判定符合蚀刻硅钛的效果。

5.5.蚀刻铜的速度：

在干净的250mL烧杯中放入适量铜蚀刻液样品，恒温在35℃，放入待蚀刻硅钛样品，打开磁力搅拌器，分别测试120秒内硅钛蚀刻的效果，用金相显微镜观察，硅钛上应该蚀刻的区域有无硅钛点残留。测试三次，三次重复结果相同判定合格；

检测标准：35℃条件下，蚀刻时间120秒内，无硅钛点残留，即可判定蚀刻硅钛速度符合要求。

5.6.对基材的影响：

在干净的250mL烧杯中放入适量硅钛蚀刻液样品，恒温在35℃，放入待蚀刻硅钛样品，打开磁力搅拌器，分别测试10分钟内硅钛蚀刻对基材的影响，用显微镜观察，浸泡前后基材有无颜色和硬度变化。测试三次，三次重复结果相同判定合格；

检测标准：35℃条件下，蚀刻时间10分钟，浸泡前后基材有无颜色和硬度变化，即可判定硅钛蚀刻液符合对基材无影响的要求。

6.注意事项：

如果客户有特殊要求，可以对评估内容进行调整，以客户要求为准。

7.相关文件：

《产品研发控制程序》，文件编号：FR-QP-16

8.记录：

《硅钛蚀刻液新产品评估性能测试表》，文件编号：FR-QR-05-59