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超高温合金气相沉积制备工艺优化及稳定性研究

目录

一、文档综述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

1.1.1超高温合金应用现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

1.1.2气相沉积技术优势．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

1.1.3本课题研究价值．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

1.2国内外研究进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

1.2.1超高温合金材料发展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

1.2.2气相沉积技术现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21

1.2.3工艺优化研究动态．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22

1.2.4稳定性研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

1.3研究内容与目标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25

1.3.1主要研究内容．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26

1.3.2具体研究目标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27

1.4研究方法与技术路线．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29

1.4.1研究方法选择．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30

1.4.2技术路线设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32

二、超高温合金气相沉积原理及工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35

2.1气相沉积机理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36

2.1.1物理气相沉积过程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37

2.1.2化学气相沉积过程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40

2.1.3沉积机理分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42

2.2超高温合金材料特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44

2.2.1力学性能特点．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．48

2.2.2高温化学性质．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．49

2.2.3对沉积层的．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．51

2.3气相沉积工艺流程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．53

2.3.1前处理工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．55

2.3.2沉积过程控制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．57

2.3.3后处理工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．61

2.4关键工艺参数．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．63

2.4.1温度参数影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．64

2.4.2压力参数作用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．67

2.4.3气体流量控制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．68

三、超高温合金气相沉积工艺优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．71

3.1正交试验设计与实施．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．76

3.1.1因素水平确定．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．77

3.1.2试验方案安排．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．