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非球面光学元件精密测量技术研究
目录
内容概览．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4
1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5
1.1.1非球面光学元件应用现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6
1.1.2精密测量技术的重要性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10
1.1.3本研究的价值与目的．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11
1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14
1.2.1国外研究进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16
1.2.2国内研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17
1.2.3现有技术存在的问题．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20
1.3研究内容与目标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22
1.3.1主要研究内容．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22
1.3.2具体研究目标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23
1.4技术路线与研究方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24
1.4.1技术路线．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27
1.4.2研究方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29
非球面光学元件特性分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32
2.1非球面光学元件基本定义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33
2.2非球面光学元件分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37
2.2.1按形状分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38
2.2.2按制造工艺分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39
2.3非球面光学元件光学特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40
2.3.1光学畸变特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41
2.3.2光学放大特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43
2.3.3光学成像特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．46
2.4非球面光学元件表面形貌特点．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．49
2.4.1形貌复杂度分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．51
2.4.2表面曲率变化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．54
2.4.3表面缺陷类型．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．56
非球面光学元件精密测量方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．58
3.1精密测量技术原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．62
3.1.1波前传感测量原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．64
3.1.2干涉测量原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．65
3.1.3三维形貌测量原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．67
3.2主流精密测量方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．69
3.2.1莫尔干涉测量技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．71
3.2.2扫描干涉测量技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．74
3.2.3傅里叶变换光学测量技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．76
3.3针对非球面的测量方法．．．．．．
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