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2025年中国磨片数据监测报告.docx

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    2025年中国磨片数据监测报告

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    TOC\o1-3\h\z\u19777摘要 3

    4166一、典型企业磨片工艺迭代路径的历时性解构 5

    130321.1某头部晶圆代工厂十年磨片良率跃迁实录 5

    324781.2从手动研磨到智能闭环控制的技术代际演变 7

    231891.3工艺参数数据库建设对经验传承的关键作用 10

    141021.4历史故障案例库在预防性维护中的应用机制 13

    1876二、绿色磨片车间的能源流与材料流耦合验证 16

    18672.1单片能耗下降曲线与碳足迹核算模型比对 16

    39722.2废浆液闭环回收系统的经济

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