激光干涉仪原理介绍.pptxVIP

激光干涉仪的基本原理激光干涉仪通过利用激光光波的干涉现象,可精确测量物体的位移、长度和其他微小量。它广泛应用于光学、物理、工程等领域中对高精度测量的需求。AL作者：侃侃

光源和光路设计光源选择激光干涉仪需要采用高度单色性和相干性的光源,通常选用高纯度的单频激光器,如He-Ne激光器或半导体激光器。激光光源具有极高的光功率密度和极窄的光谱线宽,可以极大地提高干涉测量的分辨率和精度。光路设计激光干涉仪的光路设计需要确保光束能够沿着预设的路径传输和分束、合束,并最终产生干涉条纹。光路中常使用反射镜、分束镜、合束镜等光学元件来实现精确的光路控制。

光路分束和合束1光源分束将单一光源分割为两束相干光2光路改变通过反射和折射改变两束光的光路3光束合束将两束光重新汇聚至检测面形成干涉激光干涉仪的工作原理主要分为这三个步骤:光源分束、光路改变、光束合束。通过精密的光学设计,将单一的激光束分割为两束相干光波,分别经过不同的光路传播后再合并在检测面上,形成可见的干涉条纹图案。

干涉条纹的形成1光源分束激光光束被光学器件分成两束相干光。这两束光沿不同光路传播。2光路差由于传播距离的不同,两束光产生了光路差,即相位差。3干涉叠加当两束光再次合并时,由于相位差会产生干涉,形成明暗交替的干涉条纹图案。

干涉条纹的特点精确干涉干涉条纹由两束光波精确干涉而成,可以准确测量微小位移和形变。高灵敏度干涉条纹对微小变化非常敏感,可以检测纳米级别的位移和振动。高对比度干涉条纹清晰明显,呈现黑白条纹的高对比度,易于观察和测量。非接触测量干涉测量是非接触式的,不会对被测物产生任何干扰和损坏。

激光干涉仪的基本构成光源和光学系统激光干涉仪由精密定制的光学系统组成,包括高度相干的激光源和一系列反射镜、分束镜、合束镜等光学元件。这些部件精密安排,形成干涉所需的光路。光路分束和合束光束经过分束镜后分裂成两束,沿不同的光路传播。在光路末端,合束镜将两束光再次合并,形成干涉条纹。干涉条纹的形成两束光线经过不同光路后发生相位差,当合束时会产生明暗相间的干涉条纹。这些干涉条纹包含了测量目标信息,可用于位移、形貌等检测。

平面镜干涉仪平面镜干涉仪是最简单的干涉仪之一。它由两个相互平行的高反射镜组成,通过光线的分束和干涉实现高精度测量。这种干涉仪设计简单,操作方便,广泛应用于表面形貌、位移、倾斜角度等领域的测量。

楔形干涉仪楔形干涉仪是一种常见的干涉仪器之一。它由一个楔形的透明介质构成，通过这个楔形介质将光束分为两束并使其产生干涉。依据不同的楔角和波长，干涉仪可以产生各种类型的干涉条纹，从而实现测量的目的。其简单的结构和制造过程使其成为干涉测量领域的重要工具之一。

牛顿环干涉仪牛顿环干涉仪利用光程差引起的干涉来测量微小的曲面形状变化。它由凸透镜和平面镜组成,在它们接触处形成牛顿环干涉条纹。通过分析这些条纹的变化,可以精确测量表面形状以及变形量。这种干涉仪结构简单,操作方便,测量精度高,广泛应用于光学、机械等领域。

马赫-曾德尔干涉仪干涉光路设计马赫-曾德尔干涉仪由一个光束分束器和两面反射镜组成,光束在两条不同路径上传播并最终重新汇合,产生干涉条纹。干涉条纹的形成当两条光路的光程差变化时,干涉条纹会发生移动。这种特性使马赫-曾德尔干涉仪能够精确测量微小的位移或变形。测量原理马赫-曾德尔干涉仪可用于测量位移、振动、温度变化等物理量,通过检测干涉条纹的位移来获得测量结果。

激光干涉仪的优势1高精度测量激光干涉仪可实现亚纳米级的高精度位移测量,在工业制造和科学研究中发挥重要作用。2快速响应激光干涉仪具有快速的测量响应速度,可捕捉高速物体的动态变化。3非接触测量激光干涉仪采用光学信号的非接触测量原理,避免了测量对被测物体的影响。4广泛应用激光干涉仪可广泛应用于精密加工、航天航空、生物医疗等多个领域。

激光干涉仪的应用领域精密测量激光干涉仪广泛应用于各种精密测量领域,如长度、位移、角度、振动、温度、应变等测量。其高精度和高分辨率使其成为理想的测量工具。制造业激光干涉仪在制造业中广泛用于精密加工、质量控制、机床校准等,确保产品的高精度和高品质。科研应用激光干涉技术在天文学、物理学、地球科学等领域广泛应用,如精密测量引力波、地壳移动、气候变化等。

位移测量原理激光路径分析激光干涉仪利用激光光束的干涉原理,通过测量光路差的变化来精确测量物体的位移。光路分束与合束干涉仪将激光光束分成参考光束和测量光束,经过不同光路后再合并产生干涉条纹。干涉条纹分析物体发生位移会导致测量光束长度变化,从而引起干涉条纹的移动,通过分析条纹移动可以计算出位移量。

表面形貌测量原理1探测光路利用激光光源和光路设计，将光线聚焦在待测物表面2干涉与反射探测光线与待测物表面发生干涉,形成干涉条纹3信号检测利用光电探测器检测干涉条纹的变化4