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2025年企业半导体厂安全生产管理考试题库(附答案)
一、单项选择题(共20题,每题2分,共40分)
1.半导体厂洁净室(Class1000)与非洁净区的压差应保持在()范围内,以防止外部污染物侵入。
A.5-10Pa
B.10-15Pa
C.15-20Pa
D.20-25Pa
答案:B
2.半导体生产中常用的特种气体(如SiH?、NF?)储存时,应与以下哪类物质分开存放?()
A.惰性气体(如N?)
B.氧化性气体(如O?)
C.压缩空气
D.去离子水
答案:B(注:硅烷(SiH?)为易燃气体,需与氧化性气体隔离储存
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