金刚石材料——高效散热破局之选.pdfVIP

金刚石材料——高效散热破局之选.pdf

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摘摘要要

核心观点：随着半导体产业更先进制程迈进，芯片尺寸缩小而功率激增，“热点”问题突出，芯片表面温度过高会导致安全性和可靠性

下降，催生对高效散热方案的需求。金刚石是理想散热材料，热导率可达2000W/m・K，是铜、银的4-5倍，也是硅、碳化硅等半导体材

料的数倍至数十倍，且兼具高带隙、极高电流承载能力、优异机械强度与抗辐射性，在高功率密度、高温高压等严苛场景中优势显著。

其应用形式包括金刚石衬底、热沉片及带微通道的金刚石结构，可适配半导体器件、服务器GPU等核心散热需求。在制备上，化学气相

沉积法（CVD）为主流，可生产单晶、多晶、纳米金刚

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