基于谐振模式的半导体激光阵列谱合成光束特性理论研究.pdfVIP

摘要

随着半导体激光器在智能驾驶、通信和军事等领域中的重要性日益凸显，人们对激

光器输出功率和光束质量的要求不断提高。作为一种典型的合束技术，谱合束将半导体

激光器内部振荡与外部光学系统的反馈相结合，确保每个子单元的谐振波长与外腔反馈

相匹配，利用光栅等色散元件逆色散原理，最终实现了非相干合束。与单个发光单元相

比，输出光束的光束质量与子光束相当，从而在确保合束质量的同时提升了输出功率。

然而，由于激光系统内外腔模式不匹配，可能导致锁定光谱出现旁瓣，致使合束光源效

能劣化。此外，半导体激光阵列难以避免的smile效应可能导致阵列锁定波长偏移、输

出光谱拓宽等现象，进而降低谱合束系统的稳定性。因此，本论文主要围绕谱合束系统

的光束传输特性、光束质量、合束效率和光谱特性等开展了以下研究：

1.在半导体激光阵列谱合束系统中，阵列锁定光谱由内腔和外腔共同决定。利用外

腔光反馈和多光束干涉理论，对耦合腔锁定的光谱模式进行了数值计算和模拟分析。激

光阵列单元的光谱模式包括主瓣、左旁瓣和右旁瓣，受阵列单元位置的影响较大。基于

锁定光谱模式，采用衍射积分方法和非相干叠加原理等建立了光束在光栅外腔中的传输

模型。详细探讨了子单元间距、激光器前端面反射率以及光栅与耦合镜之间的距离对合

束光源光强分布和光束质量的影响。结果显示，减小子单元间距、降低前端面反射率和

减小光栅与耦合镜之间的距离可以增大合束光强和优化光束质量。在子单元间距、前端

面反射率和衍射距离这三个因素中，子单元间距对合束光束特性的影响最为敏感。因此，

可采用光束压缩装置来优化谱合束光源性能。相关结论可为实现更高功率、更佳光束质

量的谱合束光源提供有用参考。此外，为研究系统元件对合束效率的影响，从光反馈半

导体激光器速率方程组出发，建立了谱合束系统合束效率计算模型，并详细讨论了内、

外腔长度，激光器前、后端面反射率、变换透镜透射率及输出耦合镜反射率对合束效率

的影响规律，为实际的谱合束系统元件加工及系统调试提供了理论依据。

2.针对半导体激光阵列中难以避免的smile效应导致谱合束系统光谱劣化的问题。

利用位置误差和指向偏差来表征smile效应，建立了考虑smile效应的耦合腔谐振模型。

基于该模型，对位置误差和指向偏差对合束光束光谱特性的影响进行了理论研究。此外，

还详细讨论了变换透镜焦距、中心光束入射角和光栅线密度对阵列波长锁定和合束光束

光谱宽度的影响。分析表明，由于内腔和外腔的共同作用，中心子单元表现出较高的光

谱纯度和较窄的线宽。而边缘子单元则表现出旁瓣和主峰强度下降。随着位置误差和指

向偏差程度的增加，阵列子单元发生了明显的光谱偏移和阵列光谱宽度扩展。且与位置

误差相比，指向偏差对波长锁定和阵列光谱宽度的影响更为显著。通过增加变换透镜焦

距、增大中心子单元入射角和采用更大线密度的光栅，可以减少波长偏移并压缩谱宽。

但值得注意的是，增加变换透镜焦距只能抑制由位置误差引起的波长偏移，无法抑制由

指向偏差引起的波长偏移。我们的研究结果有助于实现波长稳定的窄光谱激光源。

综上所述，本文从半导体激光阵列谱合束系统阵列光源内腔（smile效应、内腔谐

振模式、内腔参数）和光栅外腔（外腔谐振模式、外腔参数）两方面综合进行考虑，建

立了耦合腔谐振锁定光谱模型、光栅外腔光束传输模型、含smile效应的半导体激光阵

列光源模型以及光束质量和合束效率的计算模型，研究分析了半导体激光阵列光源质量

和内外腔参数等对合束光强、光束质量、合束效率以及光谱特性的影响规律，并提出了

增大光强、改善光束质量、提高合束效率、抑制锁定波长偏移和压窄合束谱宽的措施。

有关结果可对光束谱合束系统的光源质量控制、系统参数选取提供理论参考。

关键词：半导体激光阵列；谱合束；谐振模式；光束质量；smile效应；输出光谱

Abstract

Astheimportanceofsemiconductorlasersinfieldssuchasintelligentdriving,

communication,andmilitarybecomesincreasinglyprominent,thedemandsforlaserout