第三章扫描电子显微分析技术.pptVIP

第三章扫描电子显微分析技术演示文稿;优选第三章扫描电子显微分析技术;3.1扫描电镜的结构;这是一台扫描电镜结构原理图;看一下镜筒（电子光学系统）的组成;电子枪;日本电子的JSM-6360系列扫描电镜;扫描电镜的成像过程;扫描电子显微镜的放大倍数;扫描电镜图像的放大过程;3.1.2扫描电镜的电子枪;3.1.3透镜系统;扫描电镜物镜部分结构示意图;影响扫描图像质量的电子束参数;3.1.4图像检测、显示、记录与控制系统;现在是16页\一共有38页\编辑于星期五;3.1.5显示、记录与控制系统;灯丝电流:随着灯丝电流的加大，图像亮度会逐渐提高，当灯丝电流增大到一定大小时，图像亮度饱和不再增大，灯丝电流应工作在饱和点上，使图像稳定。;3.1.6真空系统及电源系统;这是机械泵的工作原理图;这是扩散泵的工作原理图;3.2扫描电镜的图像解释;二次电子象衬度是入射电子束从试样表层不同部位激发的二次电子数量变化的反映。电子束入射条件一定（加速电压、电子束流及束斑大小），二次电子发射量与试样表面形貌（凸凹、特别是尖端棱角）、组成元素、电子束相对试样入射角等有密切关系。即决定于倾斜效应、边缘效应、原子序数效应等。;二次电子发射量与试样倾斜程度的关系;这是氧化铝晶体的二次电子像;3.2.2边缘效应

入射电子束照射如下图那样的试样边角、尖端或边缘时，二次电子可从试样侧面发出，即和一般的起伏部分相比二次电子产率显得特别明亮，以致难以辩认所存在的形貌细节。边缘效应实际上是倾斜效应的特例，同时与加速电压有明显依赖关系。通过降低加速电压，可减小边缘效应的影响，有利于图象观察、拍照和改善高度方向(Z方向)表面形貌细节的辩认。;这是叶表面的二次电子像;3.2.3原子序数效应

下图的上横轴为原子序数Z，下横轴表示功函数WF，纵轴表示二次电子产率?。由图明显看出，二次电子产率随元素原子序数增大而增大，在扫描图像上，试样表面原子序数小的部分的图象的亮度将比原子序数大的部分差。;这是Pb-Sn合金的二次电子像;3.2.4扫描电镜图象解释中的几个问题;3.2.4.2荷电效应

入射电子束照射非导电试样时，部分残???在试样中的电子不能象在导电试样中那样通过试样本身导向大地，而是在电子束照射点附近产生电荷积累。实验指出，将加速电压降至5kV以下，试样倾斜60°以上，可有效地减小试样荷电效应。;3.2.4.3二次电子发射率与入射电子能量的关系

提高加速电压，将增大电子束侵入试样的深度，扩大电子的散射范围。但加速电压过低，电子束斑将显著增大，图象信噪比也很低，仪器分辨能力下降。适当提高加速电压，可减小电子束斑直径，有利于提高分辨能力，改善图象质量，但二次电子发射率有所降低，边缘效应明显增加，容易产生带电现象和试样损伤（尤其是生物及高分子试样），引起图象重叠。

实际工作中应根据试样的性质、研究目的和观察过程中出现的现象选择和调节加速电压。一般观察条件下，加速电压为5-25kV。;3.3扫描电镜二次电子像的质量控制;3.3.2电子束参数对图象质量的影响

加速电压加速电压越高，电子束直径越小，束流也越大。然而不适当地增大电子束加速电压，将会带来某些缺点，如边缘效应增大、试样表面结构细节不佳、增大试样充电的可能性和试样损伤的可能性均增大等。;不同加速电压下的二次电子像;对不同试样建议采用的加速电压;电子束直径、束流与图像质量的关系扫描电镜中，入射到试样表面的电子束直径越小，则图像的分辨率越高，但像的平滑性下降，因为信噪比与电子束流有关，束流变小，则信噪比变小。束流与束径成正比。;谢谢大家！