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基于敏感膜特性的声表面波气体传感器动态响应与性能优化探究

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今社会，气体检测在环境监测、工业生产、医疗诊断等众多领域都有着至关重要的作用。随着科技的不断进步，对气体传感器的性能要求也越来越高，不仅需要高灵敏度、高选择性，还需要快速响应、稳定性好以及小型化、低成本等特性。声表面波（SurfaceAcousticWave，SAW）气体传感器作为一种新型的气体传感器，凭借其独特的优势，逐渐在气体检测领域崭露头角。

声表面波是一种沿固体表面传播的弹性波，其传播特性对表面的物理和化学变化极为敏感。SAW气体传感器正是基于这一特性，当敏感膜吸附或反应特定气体时，