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2025年中国脚踏光刻机数据监测研究报告
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TOC\o1-3\h\z\u27965摘要 3
22522一、脚踏光刻机产业全景扫描：从边缘设备到战略支点的跃迁 4
92401.12025年脚踏光刻机在半导体制造生态中的重新定位 4
52931.2全球供应链扰动下的中国本土化生产图谱 6
5714二、技术演进路径解构：机械驱动与光刻精度的耦合边界 8
247442.1脚踏动力系统与曝光对准模块的技术集成瓶颈 8
305972.2非电控架构在低制程场景中的性能天花板分析 11
26174三、商业模式重构实验场：轻资产运营与分布式制造的新
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