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材料表征基础 课件 4.4 电子背散射衍射技术.pptx

材料表征基础 课件 4.4 电子背散射衍射技术.pptx

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    §4.4电子背散射衍射技术

    讲授人：XXX

    《材料表征基础》

    战略性新兴领域“十四五”高等教育系列教材

    电子背散射衍射技术

    的硬件系统

    菊池花样产生的原理

    电子背散射衍射花样

    的标定

    EBSD样品的制备

    05

    电子背散射衍射技术

    的应用

    1.电子背散射衍射技术的硬件系统

    EBSD数据采集与分析系统示意图

    在扫描电镜中，将样品从水平方向向荧光屏倾斜（一般倾转65°~70°），以通过减少背散射电子离开表面的路径来减少吸收信号，从而获得足够强的背散射衍射信号。电子束与样品发生相互作用后产生的背散射电子、在离开表面的过程中产生衍射，因此叫做电子背散射衍射技术。

    2.菊池花样产生的原理

    当电子束以较

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