材料表征基础 课件 3.5 分析电子显微学.pptx

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§3.5分析电子显微学讲授人:XXX《材料表征基础》战略性新兴领域“十四五”高等教育系列教材

内容提要0102扫描透射电子显微术能量色散X射线光谱(EDS)03电子能量损失谱(EELS)

1.扫描透射电子显微术扫描透射电子显微术明场STEM像未散射和小角度散射的电子环形暗场(annulardarkfield,ADF)像相干和非相干电子混合高角度环形暗场(highannulardarkfield,HAADF)像大角度散射的电子非相干散射电子为主Z衬度(Z1.7)成像模式示意图

1.扫描透射电子显微术成像过程电子束斑聚焦在试样表面,通过线圈控制逐点在试样上进行光栅扫

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