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TEM透射电镜样品制备常用方法及技巧
1、样品制备重要性
透射电子显微镜分辨率高、放大倍数高,可以揭示物质内部的微细观结构,
是人们了解、认识事物内部结构不可缺少的工具。观察透射电镜的最终目的是得
到清晰、高质量的照片,要想摄制出一张高质量的TEM照片,首先需要制备出
合格的透射电镜样品。
2、制样原则及要求
原则:
a.制备简单;
b.不破坏样品表面;
c.尽可能获得大的薄区。
要求:
a.制备出对电子束“透明”的试样,即根据电子束穿透能力和分析要求,最终样
品形态为直径为φ3mm,中心厚度≤100nm~200nm;
b.
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