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半导体激光辐照损伤效应测试技术研究

目录

内容概览．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

1.1.1半导体激光器发展现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

1.1.2激光损伤效应研究的重要性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

1.2.1激光损伤测试技术发展历程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

1.2.2现有测试技术的优缺点分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

1.3研究内容与目标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

1.3.1主要研究内容概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

1.3.2预期研究目标设定．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

1.4研究方法与技术路线．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

1.4.1采用的研究方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22

1.4.2技术路线图．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

半导体激光损伤效应机理分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25

2.1激光与物质相互作用原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29

2.1.1激光能量吸收机制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31

2.1.2温度场分布特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32

2.2损伤形成物理过程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34

2.2.1热致损伤机理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35

2.2.2电磁损伤机理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37

2.3影响损伤效应的主要因素．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39

2.3.1激光参数影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40

2.3.2材料特性影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43

2.3.3环境因素影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44

半导体激光损伤效应测试技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．47

3.1测试系统搭建方案．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．49

3.1.1激光源选择与配置．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．52

3.1.2测试平台搭建．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．54

3.2激光参数测量方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．57

3.2.1功率/能量测量技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．59

3.2.2波长/光谱测量技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．62

3.2.3脉冲参数测量技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．65

3.3损伤特征表征技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．66

3.3.1损伤形貌观测技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．73

3.3.2损伤程度评估方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．75

3.4常用测试技术对比分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．78

3.4.1暴露测试技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．80

3.4.2脉冲测试技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．