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ICS23.020.10
CCSA82
CBMF
中国建筑材料团体标准
T/CBMFXXXX—XXXX
半导体工业用光敏材料存储容器颗粒物
析出量测试方法
Containersofphotosensitivematerialsforthesemiconductorindustry—Testmethod
fortheprecipitationofparticles
（征求意见稿）
（本草案完成时间：）
2025.11
-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施
发布
T/CBMFXXXX—XXXX
目次
前言II
1范围1
2规范性引用文1
3术语和定义1
4方法原理1
5试剂和材料1
6仪器和设备2
7测试环境2
8测试步骤3
9结果计算4
10精密度5
11测试报告5
I
T/CBMFXXXX—XXXX
前言
本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由中国建筑材料联合会提出并归口。
本文件负责起草单位：
本文件参加起草单位：
本文件主要起草人：
本文件主要审查人：
II
T/CBMFXXXX—XXXX
半导体工业用光敏材料存储容器颗粒物析出量测试方法
1范围
本文件规定了测试半导体工业用光敏材料储存容器中颗粒物析出量的方法原理、试剂和材料、仪器
和设备、测试环境、测试步骤、结果计算、精密度和测试报告。
本文件适用于半导体工业用光敏材料储存容器中颗粒物析出量的测试，颗粒物粒径范围为0.1μm～
1.0μm。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，
仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本
文件。
GB/T11446.1-2013电子级水
GB/T25915.1-2021洁净室及相关受控环境第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级
SEMIC35SpecificationandGuideforNitricAcid
3术语和定义
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