半导体工业用光敏材料存储容器 颗粒物析出量测试方法.docxVIP

Q/LB.□XXXXX-XXXX

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ICS

FORMTEXT23.020.10

CCS

FORMTEXTCBMF

FORMTEXTA82

FORMTEXT中国建筑材料团体标准

T/FORMTEXTCBMFFORMTEXTXXXX—FORMTEXTXXXX

FORMTEXT?????

FORMTEXT半导体工业用光敏材料存储容器颗粒物

析出量测试方法

FORMTEXTContainersofphotosensitivematerialsforthesemiconductorindustry—Testmethodfortheprecipitationofparticles

FORMDROPDOWN

FORMTEXT（本草案完成时间：2025.11）

FORMDROPDOWN

FORMTEXT????-FORMTEXTXX-FORMTEXTXX发布

FORMTEXTXXXX-FORMTEXTXX-FORMTEXTXX实施

FORMTEXT???????发布

STYLEREF标准文件_文件编号T/CBMFXXXX—XXXX

STYLEREF标准文件_文件编号T/CBMFXXXX—XXXX

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目次

TOC\o1-1\h\t标准文件_一级条标题,2,标准文件_附录一级条标题,2,前言 II

1范围 1

2规范性引用文件 1

3术语和定义 1

4方法原理 1

5试剂和材料 1

6仪器和设备 2

7测试环境 2

8测试步骤 3

9结果计算 4

10精密度 5

11测试报告 5

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由中国建筑材料联合会提出并归口。

本文件负责起草单位：

本文件参加起草单位：

本文件主要起草人：

本文件主要审查人：

半导体工业用光敏材料存储容器颗粒物析出量测试方法

范围

本文件规定了测试半导体工业用光敏材料储存容器中颗粒物析出量的方法原理、试剂和材料、仪器和设备、测试环境、测试步骤、结果计算、精密度和测试报告。

本文件适用于半导体工业用光敏材料储存容器中颗粒物析出量的测试，颗粒物粒径范围为0.1μm～1.0μm。

规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T11446.1-2013电子级水

GB/T25915.1-2021洁净室及相关受控环境第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级

SEMIC35SpecificationandGuideforNitricAcid

术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

模拟提取剂simulatedextractant

用于模拟提取半导体工业用光敏材料储存容器中颗粒物的提取剂。

提取比extractingratio

模拟提取剂与光敏材料存储容器内壁的接触面积（S）与模拟提取剂体积（V）的比值。

单位为dm2/L。

方法原理

向待测容器中加入一定体积的模拟提取剂，在特定温度下进行静态提取。也可以将待测容器安装在恒温水浴振荡器上，设置振荡方式和频率，在特定温度下进行加速提取。按照设定的时间间隔，用光散射法液体颗粒计数器对提取液中的不同粒径颗粒物进行定量分析，计算得到颗粒物析出浓度、析出量、平均析出速率。

光散射法液体颗粒计数器测试原理如图1所示。

光散射法液体颗粒计数器测试原理

试剂和材料

超纯水，符合GB/T11446.1中EW-Ⅰ级的要求。

高纯硝酸：符合SEMIC35中TierB级的要求。

稀硝酸溶液(1+19)：使用超纯水(5.1）将高纯硝酸（5.2）稀释配制成（1+19）稀硝酸。

模拟提取剂：N-甲基吡咯烷酮（NMP）符合SEMIG3级的要求，丙二醇单甲醚乙酸酯（PGMEA）符合SEMIG3级的要求，或计划盛装的光敏材料和其它溶剂。

高纯氮气：纯度不低于99.999%。

样品瓶：高密度聚乙烯树脂（HDPE）材质，容量不低于100mL。

仪器和设备

液体颗粒计数器：检测方式为激光散射法，颗粒物粒径检测通道至少包含0.1μm、0.2μm、0.3μm、0.4μm、0.5μm和1.0μm。

恒温水浴振荡器：温度范围（20～