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实验七电子束蒸发法薄膜制备及性能表征
真空蒸发镀膜简称为蒸镀，是指在真空条件下，用蒸发器加热蒸发物质使之气化，形成
蒸汽流，蒸汽流直接射向具有温度的基片并在基片表面上凝结形成固态薄膜的技术。电子束
蒸发法是真空蒸发镀膜技术之一，它采用电子束轰击作为加热方式，能够克服电阻加热方式
中靶材与蒸镀源材料直接接触容易互混、可达到温度低等问题。电子枪可分为三种，其中环
形枪结构简单但功率和效率较低；直枪可以实现很高的功率但体积很大且易污染；e型枪体
积小，偏转磁场可避免
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