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自动化仪表)第22卷第11期2001年11月

E5AX温控器的VB通信控制

E5AXTemperatureControllerandtheCont~lonCommunicationbyUsingVB

掌}渡常弘亩建社铸豹丑(西安交通走学电气I程学院，西安710049)

李考全(空军I程走学导弹学院，陕西三原713800)

关羹词：温度控制器VB串行通信⑤具有本控(本地控制)和遥控(远距离通信控制)

-畸w：Terapl~c0ntVBSerialeemmml-两种控制方式。在本控方式中可通过温控器的按键设置

a如n或改变各参数．不能由主机设置或改变各参数，但主机可

摘要简要舟绍了FSAX温度柱制嚣的特点．给出了用vB60读取各设置值和过程温度。在遥控方式中．可由主机通

对FSAX的串行通信控制方法，结台具体实剜给出部分程序过通信设置或改变各参数，不能由温控器的按键设置或

Ab日嘲rcnefeawa~ofFSAX¨ImeortlroUerareprese~ed改变各参数，但设置值和过程温度可通过温控器监视；

inbrief．11∞nmforserialcommunicationofESAXbyus—⑥具有灵活多样的通信方式；

ingVB6．0isgiv即andpaflial蚰ofooncmte咖】leislisted．⑦具有故障自诊断功能，包括存储器故障、A／D

0引言转换器故障、传感器连接故障、温度溢出(超出传感器

范围)、温度过低(超出传感器范围)和温度超出设定范

温度的测控是硅片处理系统工艺中的重要一环，围等自诊断功能。

与硅片质量的好坏直接相关。为了降低上位机的负担12E5AX的通信协议

和提高温度测控的可靠性，在系统中采用了欧姆龙ESAX具有多种通信方式：RS一232C、Rs一422、

(0ⅢtoN)温度控制器ESAX。本文就KSAX的主要特Rs一485串行通信和BCD码并行通信。其中，Rs一

点作简要介绍，并详细给出在VB6．0(vi剐】albasic)环境232C为点对点连接，而Rs一422和Rs一485为多点连

下对ESAX的通信控制。接(最多可至32个温控器)。在本系统中采用Rs一

232C点对点通信方式。

1ESAX温控器的主要特点

E5AX通信的基本设置为：半双工，波特率为150～

11ESAX的主要功能9600可变，由面板按键设置；1个起始位、2个停止位：

KSAX温控器是欧姆龙KSAX系列温控器的一种，整个传送代码全部采用ASCII码，即7个数据位：校验

具有以下主要功能：方式为偶校验加帧校验序列(hcheck8L~lu@nce．

①根据测控温度范围和精度的不同．可由内部开rcs)，即每一个字节采用偶校验．然后再加上帧校验．

关选择外接JPtlO0、Ptl00型2种铂电阻和R。S，K，J，T，保证了数据传送的高可靠性另外，当多个温控器连

E．L及U型等8种热电偶，并在传感器测温范围内任到一个主机时，还必须为每个温控器指定一个分机号．

意设置被控温度和上下限温度；范围为00～99，由面板按键设置。

②根据控制负载的不同．配有继电器型SSR型、E5AX的帧分为两大类：～类由主机到E5AX称为

NPN电压型、PNP电压型、N