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摘要
射频在片测试是获取射频器件电学特性参数的重要手段，是精确表征器件特
性的基础。因此对校准方法的研究以及校准的误差分析是微波在片测试领域研究
的热点。随着信息技术的发展，传统的小信号S参数测试已经不能再满足电路设
计的需求，器件在非线性区，也即大信号激励下的参数也需要进行测试，即大信
号在片测试。因此本文针对小信号矢量校准与大信号功率校准均展开了研究与讨
论。论文的主要内容分为以下几个部分：
1.简单的介绍了常见的微波毫米波器件以及在片测量系统的组成，介绍了射
频在片测试的测试指标
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