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*硅片过程检验培训第1页，共33页，星期日，2025年，2月5日目录：1.引言2.电池片过程检验标准3.过程检验作业指导书第2页，共33页，星期日，2025年，2月5日硅片检验主要分为三类：1.硅片来料检验2.电池片生产过程检验3.电池片出货检验引言第3页，共33页，星期日，2025年，2月5日硅片来料检验设备：引言第4页，共33页，星期日，2025年，2月5日硅片来料检验设备：引言第5页，共33页，星期日，2025年，2月5日硅片来料检验目的：保证进货的原材料满足规定的要求，防止不合格品流入生产流程造成不必要的损失。(确保合格的产品提供给生产部门)引言第6页，共33页，星期日，2025年，2月5日硅片来料检验主要项目：1.电学部分：厚度/电阻率测试少子寿命测试引言第7页，共33页，星期日，2025年，2月5日2.光学部分：几何尺寸垂直性硅片破裂（包括崩边、裂痕、V型缺口）表面脏污空洞和隐裂引言第8页，共33页，星期日，2025年，2月5日相关硅片实例：引言第9页，共33页，星期日，2025年，2月5日电池片生产过程检验目的：防止过程中出现批次性问题，避免不合格品流入下道工序。保证电池片生产工艺过程、操作过程均满足规范要求，保证生产的稳定性及规范性，保证产品效率及成品率。引言第10页，共33页，星期日，2025年，2月5日电池片生产主要过程介绍：引言第11页，共33页，星期日，2025年，2月5日电池片生产过程检验主要相关设备：引言第12页，共33页，星期日，2025年，2月5日主要分为以下几个控制点：1.前期准备工作检查2.制绒清洗后；3.扩散后；4.等离子刻蚀后；5.去磷硅玻璃清洗后；6.PECVD后；7.丝网烧结后；8.电池片性能测试分档后。电池片过程检验标准第13页，共33页，星期日，2025年，2月5日前期准备工作检查：设备开机检查，填写《巡检记录单》；工艺参数监控：设备各参数达到工艺要求后进行生产。电池片过程检验标准第14页，共33页，星期日，2025年，2月5日各工序关键工艺参数：制绒清洗：NaOH、Na2O3、HF、HCL溶液浓度，溶液温度等。扩散：扩散温度，气体流量等。等离子刻蚀：射频功率，气体流量等。电池片过程检验标准第15页，共33页，星期日，2025年，2月5日去磷硅玻璃：HF溶液浓度等。PECVD：气体流量，微波源功率，沉积压力，工艺温度等。丝网烧结：印刷压力，印刷速度，印刷网板间距，印刷方式，烧结各加热区温度等。电池片过程检验标准第16页，共33页，星期日，2025年，2月5日制绒清洗后：制绒后硅片外观：硅片表面制绒均匀，无点状亮点硅片称重：清洗前后重量差在0.6～0.7g电池片过程检验标准第17页，共33页，星期日，2025年，2月5日扩散后：方块电阻：测量范围在40±5Ω/□方阻均匀性：均匀性误差不大于±5%电池片过程检验标准第18页，共33页，星期日，2025年，2月5日等离子刻蚀后：边缘电阻测量：测量范围在30±10kΩ刻蚀痕迹（目测）电池片过程检验标准第19页，共33页，星期日，2025年，2月5日去磷硅玻璃清洗后：电池片外观：扩散面无明显发暗扩散面疏水性（目测）电池片过程检验标准第20页，共33页，星期日，2025年，2月5日PECVD后：工艺后外观检测：硅片镀膜面呈均匀蓝色（目测）氮化硅膜的厚度、反射率、折射率片内均匀性、片间均匀性、批间均匀性：不大于±5%电池片过程检验标准第21页，共33页，星期日，2025年，2月5日丝网烧结后：印刷重量：正银为0.10g±0.02g；背银为0.12g±0.02g；背铝为0.8g±0.2g；电池片外观：满足《成品电池片外观分选标准》要求。电池片过程检验标准第22页，共33页，星期日，2025年，2月5日电池片性能测试分档后：标准片校准碎片记录电池片过程检验标准第23页，共33页，星期日，2025年，2月5日一、目的：防止制程中出现批次性问题，避免不合格品流入下道工序。二、范围：适用于产品生产过程有关的工序。过程检验作业指导书第24页，共33页，星期日，2025年，2月5日*