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激光干涉测量技术合肥工业大学演示文稿;激光干涉测量技术合肥工业大学;第二章激光干涉测量技术

§2.1激光干涉测量长度和位移;Δφ=φ1-φ2;2π;结论

合成干涉光的光强是两路光的光程差的余弦函数

I∝A2+B2+2ABcosΔ;应用;n均固定/已知,一路光的光程固定,由下公式可知,即测

量位移和长度

NN

Δ=∑nili?∑njlj

i=1j=1

通过测量光强的变化的次数,测量某臂的光程变化:

所以激光干涉测量一般是:;以Michelson干涉仪为例:;二、测量系统组成;1.干涉仪常用分束方法;（3）分偏振法（PBS）;4.典型的光路布置

布置原则:

1)共路原则消除振动、温度、气流等影响

2)考虑测量精度、条纹对比度、稳定性及实用性

等因素

3）避免光返回激光器

（1）使用角锥棱镜;两半反半透镜一体化光路;（2）整体布局;（4）零光程差的结构布局;常用移相器种类

（1）机械法移相;（2）阶梯板和翼形板移相;（3）金属膜移相

原理：

利用金属膜表面反射和透射时都产生附加位相差

的原理，在分光器的分光面上镀上金属膜做成金

属膜分幅移相器

优点是两光束受

振动和大气扰动

的影响相同，元

件少，结构紧凑。;（4）分偏振法移相;2.干涉条纹的计数及判向原理;=2;四、应用举例;2.激光跟踪干涉仪;4.激光小角度干涉仪;小角度测量仪:测量范围一般在±1°以内，最大测

量误差±0.05″,采用下图,可达95°,测量精度;§2.2激光外差干涉测量系统;?在某一光臂中引入一定频率的载波，被测信息通;一、Zeeman双频激光干涉仪;Bsin(Δωt+Δ?);∫;电路静态频率f1?f2;测量角度;当前34页，总共94页。;1;2.2.2声光调制双频外差干涉仪;2.声光调制双频外差测振仪;当前38页，总共94页。; §2.4激光全息干涉测量系统

全息的来源:

1948年盖伯(D.Gebar)提出用一个合适的相干照射

全息图，透射光的一部分就能重新模拟出原物的

散射波前，于是重现一个与原物非常逼真的三维

图像。1960年激光的出现促进了全息照相术的发

展，全息术得到了不断完善，为此他荣获1971年

诺贝尔物理学奖;每毫;0;0r;经过一定时间的照射,完成曝光,然后把干板

取下,经显影、定影、制成全息底片

以上过程称为全息记录;2.物光波再现;22;0;当前47页，总共94页。;3.全息干涉条纹的调制度

I(x,y)=Ar2+A02(x,y)+2ArA0(x,y)cos(ay-j(x,y));?;3、全息元件：;二、全息干涉测量技术;1.实时法;2.二次曝光法

原位曝光/遮光→物体发生变化→再次曝光→显影/定影→显示观察;3.时间平均法;全息干涉测量的特点;三、全息干涉测量技术的应用;2.发动机活塞变形;3.缺陷检测;4.检测光学玻璃的均匀性; §2.5激光散斑干涉测量系统

1970年Leendez开创了光学粗糙表面

的干涉测量方法，称这种方法为散斑干

涉测量;散斑产生的条件：;kλ;通过观察散斑的明暗变化次数,可以测量纵向位移。

当H为全息干板,曝光周期大于振动周期时,在节点

处,光强和相位不变化,其他位置,光强和相位发生

变化,所以在节点处,高对比度,其他位置对比度下

降,可以测量振幅及振动模态;2.测量横向位移

参考光与物光以相同夹角入射，

方向关于Z对称

当物面沿Z向变化时，物光与参

考光的相位变化一直，不产生

额外相位差，散斑不变化

当物面有X，Y方向变化时

光程变化为：Δ=2dsinθ;三、电子散斑干涉测量技术（ESPI）;基本原理; 基本原理

ESPI处理:;四、散斑干涉测量技术的应用;2.测量内孔的表面质量; §2.5激光光纤干涉测量系统

一、基本概念

光纤:光导纤维简称

材料:玻璃-纤芯及包层为玻璃;稳定;二、主要常用的光纤干涉仪结构型式;1.迈克耳逊（Michelson）光纤干涉仪;2.马赫-泽德（Mach-Zehnder）光纤干涉仪;3.萨格奈克(Sagnac)光纤干涉仪

光纤陀螺,测量角速度:

由Doppler效应知:

V=rω

Clockwise:;;三、光纤干涉仪应用;2.光纤干涉测长;3.光纤干涉仪测量温度、压