2025年中国曝光机用密封圈数据监测研究报告.docx

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2025年中国曝光机用密封圈数据监测研究报告

目录

TOC\o1-3\h\z\u1452摘要 3

20045一、密封圈材料性能与曝光机工况适配性的底层机制解析 5

226401.1不同高分子材料在真空紫外环境下的老化衰减规律 5

284521.2温度-压力-化学介质多场耦合作用对密封失效路径的影响 7

102731.3国产氟橡胶与进口全氟醚橡胶在关键指标上的微观结构差异 10

28811二、中国曝光机密封圈供应链韧性与断点识别 13

156472.1上游单体合成与中游混炼工艺的国产化瓶颈量化分析 13

97542.2核心设备厂商对密封

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