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目录
01行业概述03行业发展环境
02行业发展现状分析04行业前景趋势
第一章
行业概述
行业定义、行业产业链、行业发展历程
什么是半导体检测仪器
半导体检测仪器是指用于半导体制造过程中检测芯片性能与缺陷的专用仪器。根据使用的环节以及检测项目的不同，可分
为前道检测和后道检测。其中，前道量检测包括量测类和缺陷检测类，主要用于晶圆加工环节，目的是检查每一步制造工
艺后晶圆产品的加工参数是否达到设计的要求或者存在影响良率的缺陷，属于物理性检测；后道测试分为封装前晶圆测试
和封装后成品测试，使用设备包括分选机、测试机、探针台，目的是检查芯片的性能是否符合要求，属于电性能检测。
产业链上游
产业链上游
从半导体检测仪器行业产业链来看，上游主要包括零部件供应商和技术提供商，
其中零部件供应商主要为半导体检测仪器提供核心的零部件，对半导体检测仪器
的质量和性能有着较大影响，主要包括光学元件、精密机械、电子元器件等；技
术提供商主要为半导体检测仪器提供强大的软件支持和智能化解决方案，使仪器
能够实现高精度、高效率的检测。下游是指芯片设计、晶圆制造、测试封装等领
域，这些领域直接决定了半导体检测仪器的需求和市场前景。随着这些产业的发
展，对半导体量测检测仪器的需求也将不断增长。
产业链中游
产业链中游
武汉精测电子集团股份有限公司创立于2006年，是一家主要从事显示、半导体
及新能源检测系统的研发、生产与销售的企业。目前公司是国内半导体检测设
备领域领军企业之一，已基本形成在半导体检测前道、后道全领域的布局，相
关产品包括膜厚量测系统、光学关键尺寸量测系统、电子束缺陷检测系统、半
导体硅片应力测量设备、明场光学缺陷检测设备和自动检测设备（ATE）等。
经过多年的发展，公司多款主力产品已得到诸多一线客户认可，并取得良好的
市场口碑，同时公司还在加紧其余核心产品的研发、认证以及拓展，为半导体
检测设备收入增长作出重要贡献。2023年前三季度，公司营业收入受消费电子
市场需求疲软因素影响，同比下降113%至145亿元；同时管理费用的增加导致
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