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分子泵转子-轴承系统动力学特性与优化策略研究

一、绪论

1.1研究背景与意义

在现代科学技术的迅猛发展进程中，超高真空技术已然成为众多前沿领域不可或缺的关键支撑技术，其应用范围极为广泛，涵盖了半导体制造、表面物理研究、空间模拟、粒子加速器等诸多重要领域。举例而言，在半导体制造领域，随着芯片制程工艺不断向更小尺寸迈进，如7nm及以下制程，对真空环境的纯净度和稳定性提出了极高要求，稍有杂质或气压波动都可能导致芯片性能的严重下降甚至报废；在表面物理研究中，为了精确观测和分析材料表面的原子结构和电子态，需要在超高真空环境下进行实验，以避免外界气体分子的干扰。

分子泵作为实现超高真空的核心设备，其