2025年半导体设备用碳化硅材料及部件项目可行性分析报告.docx

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2025年半导体设备用碳化硅材料及部件项目可行性分析报告

2025年10月

目录TOC\o1-5\h\z\u

一、项目概况 3

二、项目实施的必要性 3

1、碳化硅系列产品市场放量及产业化加速,亟需建设专用生产场地 3

2、整合资源优化布局,提升管理效能与响应能力 4

3、推进高端碳化硅产品产业化,优化先进陶瓷材料产品体系 4

三、项目实施的可行性 5

1、市场需求强劲叠加自主可控驱动,项目具备良好产能消化基础 5

2、技术体系成熟工艺积累深厚,项目具备高端产品量产能力

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