基于粘弹性流体的RB-SiC反射镜Si改性层超光滑抛光技术探索.docx

基于粘弹性流体的RB-SiC反射镜Si改性层超光滑抛光技术探索

一、引言

1.1研究背景与目的

在现代光学领域，反射镜作为关键光学元件，广泛应用于天文观测、航空航天、高端光学仪器等诸多前沿领域，其性能的优劣直接关乎光学系统的成像质量与运行效能。RB-SiC（反应烧结碳化硅）反射镜凭借其高硬度、低密度、高热导率以及出色的尺寸稳定性等一系列卓越特性，在大口径、高精度光学系统中脱颖而出，成为不可或缺的核心部件，尤其是在对反射镜轻量化和性能要求极为严苛的空间光学领域，RB-SiC反射镜更是发挥着不可替代的重要作用。

然而，RB-SiC材料在制备过程中，不可避免地会在表面形成Si改性层，该改性