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青海斟技

多晶硅生产中金属

冷却器Ｅ０５１１ａｂｃｄ流程的技术改进

边维年

（亚洲硅业青海）有限公司，青海（西宁８１０００７）

摘要：本文结合生产实际，介绍了闭环式三氯氢硅还原法的工艺流程和金属冷却器的作用，重点对亚洲硅业青（

海）有限公司多晶硅生产中金属冷却器流程的改进、设备材料的选择及技改前后的经济核算进行了阐述。

关键词：金属冷却器；附着氯化物；处理方法；氯硅烷；物料性质；设备选材

亚洲硅业青海）有限公司是生产多晶硅的专业（２金属冷却器Ｅ０５１１ａｂｃｄ

厂家，工业上采用改良西门子法，自主设计的千吨级２．金属冷却器Ｅ０５１１１ａｂｃｄ的作用

多晶硅装置一期）达（到１８００ｔ・ａ的生产能力，其技三氯氢硅还原法的前提是三氯氢硅的合成。外购

术在国内处于领先地位。改良西门子法即闭环式三氯的金属硅粉（含ｓｉ量９９％ｗｔ以上）在２８０～３２０ｏＣ的

氢硅还原法的特点是沉积速度快、有利于大规模生合成炉中与氯化氢反应生成三氯氢硅，由于歧化反应

产、可满足光伏发电太阳能电池板的制作和低碳无污还有四氯化硅和二氯二氢硅的生成，为了提高反应的

染的要求。活性，在金属硅中加入了铝的化合物（Ａｌ含量为

１工艺流程简述及工艺流程简图０．１％～０．３％ｗｔ），另外含有Ｆｅ、Ｃｕ、Ｃａ２等微量金

１．１工艺流程简述属离子化合物和Ａｌ、Ｆｅ等金属离子的化合物在合

自电解制氢来高纯氢气及尾气回收来氢气在氯化成炉内和氯化氢反应均生成金属氯化物，在复杂的高

氢合成炉中与液氯汽化来氯气燃烧反应合成氯化氢；温环境中随气流被带出，送至合成气干法分离工序，

合成氯化氢及回收氯化氢与工业硅粉在２８０～３２０％的在金属冷却器Ｅ０５１ｌａｂｅｄ中被冷却捕集下来。

合成炉中合成氯硅烷；合成气进入合成气干法分离工２．２金属冷却器Ｅ０５１１ａｂｃｄ在清理金属氯化物时的

序通过氯硅烷、氢气、氯化氢沸点的不同进行分离，危害

分离出的氢气、氯化氢回收循环利用，分离出的氯硅冷却下来的金属氯化物结晶后附着在列管的内壁

烷则进入氯硅烷精馏Ａ系统；合成氯硅烷在氯硅烷精上。用电钻或风钻清理列管时，金属氯化物的粉尘太

馏Ａ系统精馏提纯，达到工艺要求的高纯三氯氢硅作大，并且不能置换完全的氯硅烷就会散发出来，粉末

为还原料，低沸物回收至低沸物储罐回收利用，高沸均与空气中的水分反应，释放出氯化氢气体会产生酸

物回收到高沸物储罐外售；进入还原炉的三氯氢硅有雾，腐蚀装置区内的设备、仪表及管道等。维护人员

２５％Ｖ／（Ｖ）还原成多晶硅产品，７５％Ｖ（，ｖ）作为还在清理金属氯化物时会对其身体造成危害，金属氯化

原尾气进入还原尾气回收系统，根据沸点的不同将氯物会在人体出汗的皮肤、呼吸道、眼睛等有水分部位

硅烷、氢气、氯化氢分开，氢气、氯化氢回收循环利反应，腐蚀人体器官组织，所以应根据这些物质的特

用；氯硅烷进入氯硅烷精馏Ｂ系统分离，分离出的高性进行密闭式处理，以保护装置和维护人员。

纯三氯氢硅作为还原料，高纯四氯化硅则通过四氯化