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压电驱动与柔性铰链融合：精密回转系统的创新与突破

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代工业和科学研究领域，对精密运动控制的需求日益增长，精密回转系统作为实现高精度旋转运动的关键部件，其性能直接影响到众多高端装备的精度和可靠性。从半导体制造中光刻机的精密对准，到航空航天领域惯性导航系统的稳定运行，再到生物医学中细胞操作的微观精度要求，精密回转系统的身影无处不在，成为推动各领域技术进步的核心要素之一。

压电驱动技术作为一种新型的驱动方式，基于压电材料的逆压电效应，将电能高效地转换为机械能，实现精确的位移输出。与传统电磁驱动相比，压电驱动具有结构紧凑、响应速度快、分辨率高、无电磁干扰等显著优势，